氦气提纯循环设备常用方法是低温，冷凝法。此外，在设备研制过程中还采用了大量低温领域的新技术，包括高压氦气压缩机的减振、耐低温高压紫铜管道特种焊接技术、低温高压活接密封技术等，以优化产品。在此基础上，通过在膜分离法提纯技术上取得突破，通过复合提纯分离方法，将纯度≥10%的低纯氦气提纯至99.5%以上，系统纯化回收率≥60%。据悉，我国相关企业的光纤高纯氦气回收提纯项目在深圳顺利通过验收，接入用户生产线正式供气。该项目成功实现了高温、高速、高粉尘的环境下无扰动气体回收，将氦含量≤50%的原料气在线纯化后供回＞99.999%高纯氦气，具有24小时无人值守自动运行、远程监控等功能。项目基建及抽气、供气管路布置和现场施工严谨规范，满足用户质量和安全要求，合肥二氧化碳，总体可节约氦气使用量55%以上，得到了用户的肯定和赞赏。
氩气是目前工业上应用很广的稀有气体。它的性质十分不活泼，既不能燃烧，也不助燃。在飞机制造、造船、原子能工业和机械工业部门，对特殊金属，例如铝、镁、铜及其合金和不锈钢在焊接时，往往用氩作为焊接保护气，二氧化碳公司，防止焊接件被空气氧化或氮化。在金属冶炼方面，氧、氩吹炼是生产优质钢的重要措施，每炼1t钢的氩气消耗量为1～3m3。此外，对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼，以及电子工业中也需要用氩作保护气。在空气中含有的0.932%的氩，沸点在氧、氮之间，高纯二氧化碳厂家，在空分装置上塔的中部含量很高，叫氩馏分。在分离氧、氮的同时，将氩馏分抽出，进一步分离提纯，也可得到氩副产品。对全低压空分装置，一般可将加工空气中30%～35%的氩作为产品获得(流程已可将氩的提取率提高到80%以上)；对中压空分装置，由于膨胀空气进下塔，不影响上塔的精馏过程，氩的提取率可达60%左右。但是，小型空分装置总的加工空气量少，所能生产的氩气量有限，是否需要配置提氩装置，要视具体情况确定。
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